Semiconduttori

Focalizzata sui requisiti dell'industria dei semiconduttori, Garlock ha sviluppato una serie di prodotti 'specifici per l'industria' per ampliare l'ambito delle possibilità per i tecnici responsabili della progettazione delle attrezzature e degli impianti.

La gamma di guarnizioni metalliche HELICOFLEX® di Garlock estende i confini per gli ingegneri progettisti. Le guarnizioni Helicoflex energizzate con molla, gli anelli a C e gli O-ring soddisfano i requisiti di alte temperature assicurando allo stesso tempo alta integrità sottovuoto.

Uno sviluppo congiunto con la CEA, la Commissione per l'energia atomica francese, il design dell'ULTRA-FLEX® raggiunge un'alta capacità di tenuta di 1x10-9 cc/sec He con pressioni di serraggio equivalenti a quelle delle guarnizioni elastomeriche.

L'ULTRA-FLEX® è dotata di una sezione trasversale a 'C' aperta prodotta utilizzando uno strato di materiale metallico esterno che ha la funzione di tenuta - oro, alluminio, argento o rame, a seconda dell'applicazione - applicato sopra un'anima metallica interna in Inconel. Al caricamento della guarnizione durante il montaggio, due bordi sfalsati (delta) opposti sulla faccia di tenuta si spostano nella posizione ottimale come si deforma la sezione a 'C'.

La composizione metallica dell' ULTRA-FLEX® fornisce benefici rispetto alle guarnizioni elastomeriche, fra cui resistenza a basse e alte temperature, degasatura zero, minore contaminazione e più ampia resistenza chimica.

L'ULTRA-FLEX® è disponibile in una vasta gamma di dimensioni e materiali da stock o prodotta secondo le specifiche dei clienti.

Progettate per superare la specifica SEMI PR3.1, le guarnizioni HELICOFLEX® MSM sono specificatamente progettate per i componenti di montaggio superficiale modulari sui sistemi di erogazione del gas. Possono essere acquistate come guarnizioni individuali o in supporti per facile movimentazione e corretto posizionamento. I supporti sono disponibili in molte configurazioni o studiati per soddisfare i requisiti dei clienti.

Stress Saver® è una serie di guarnizioni a bassa coppia di serraggio idonei per applicazioni dove sono richiesti materiali ultrapuri e privi di contaminanti. Una superficie di tenuta in PTFE puro ricopre l'anima in EPDM sagomata per ottenere una tenuta ad alte prestazioni su flange non metalliche. La guarnizione priva di contaminanti soddisfa le esigenze di applicazioni ad alta purezza.

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